半導体PCB(ポリ塩化ビフェニル)製造における湿度管理

半導体製造における湿度管理は静電気やシリコンウェーハ表面の寸法変化を防ぎ、製造環境を冷却するために使用されます。

製造中に制御不能な静電気放電が発生すると、半導体の表面が損傷し生産歩留まりが大幅に低下する可能性があります。 また、製造過程で熱が発生し空気が乾燥してしまいます。 空気の乾燥は静電気の蓄積を促進しますが、加湿器を使用して大気を相対湿度約 55%にまで抑えることで静電気が自然に消散し半導体の表面が損傷するリスクはなくなります。

ただし、シリコンウェーハの印刷面も湿気に非常に敏感です。 不適切な湿度レベルにさらされると、製造中に表面の導電路が歪む可能性があります。 湿度を40 分間で露点±0.1°Cまで非常に厳密に制御する必要があります。 これよりも大きな変動だと導電路の損傷し、半導体が台無しになります。

コンデアRSなどの抵抗シーム加湿器は、こうした正確なレベルで湿度を管理できますが、冷水加湿器はさらに蒸発冷却もできるというメリットがあります。これを使用すると、製造中の周囲温度が下がり、したがって必要な冷却も減るのでエネルギーが節約され、コストが削減されます。

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半導体産業におけるコンデア湿度管理のメリット :

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  • それぞれのプロセスに特化した革新的な方法を提案できます。

  • Low maintenance and low energy solutions for reduced

    低エネルギーシステムの湿度管理で運用コストを削減します。

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  • Comprehensive service of advice, design, supply, installation, commissioning, maintenance and spares supply

Our clients include:

  • - LAM Research
  • - STMicroelectronics
  • - Intel
  • - National Semiconductor
  • - II-VI Incorporated
  • - Onsemi
  • - Plessey

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コンデアは、加湿と除湿の両方の専門知識を提供しています。 包括的な範囲とカスタマイズされた設備を提供できるので、あらゆるプロジェクトのニーズを満たすことができます。
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